群贤毕至，共襄嘉会——IWAPS 2025诚邀投稿！
发布日期：2025-06-24 08:56 点击次数：149（原标题：群贤毕至，共襄嘉会——IWAPS 2025诚邀投稿！）
第九届国外先进光刻时间计议会
（IWAPS 2025）
-IWAPS 2025-
第九届国外先进光刻时间计议会（IWAPS）将于10月14-15日在深圳恢弘举行！本次计议会由中国集成电路立异定约、中国光学学会专揽，中国科学院微电子议论所、深圳市半导体与集成电路产业定约（深芯盟）、南京诚芯集成电路时间议论院有限公司纠合经办，诚邀全球业界精英共赴这场光刻时间规模的学术盛宴！
国外先进光刻时间计议会（IWAPS），依托中国立异沃土，搭建全球交流平台。在国表里光刻各人的狂妄扶植下，在全球企业、高校、协会等的共同推动下，IWAPS执续构建遮蔽光刻开导、工艺制程、计量检测、掩模材料、诡计光刻、系统协同优化及新式时间等全产业链的顶端时间对话平台。
本届嘉会特殊依托深芯盟的产业集群上风，汇注深圳及湾区半导体企业、高校与科研机构的协同力量；同期联动湾芯展的产业生态资源，为全球领军企业提供展示立异蓝图的舞台，为科研院所搭建中枢时间攻关的交融会说念，为后生学者创造时间想辨的活跃氛围，更为投资机构提供知悉粤港澳大湾区半导体机遇的前瞻窗口。
第九届IWAPS规划于
2025年10月14-15日于深圳举行
请于10月13日报到
接待诸君学术和产业届的一又友降临相易，积极投稿演讲
SPIE（国外光学工程学会）建造于1955年，是一个努力于光学和光电子学的国外专科组织。总部位于好意思国华盛顿州贝灵厄姆，现货黄金交易SPIE的责任是股东光学和光电子时间的科学、诈欺、老师和买卖。SPIE每年举办多个国外会议和展览，为科学家、工程师和企业提供展示最新议论着力和时间的平台。此外，SPIE Digital Library是全球最大的光学和光电子学文件数据库之一，提供了丰富的学术期刊、会论说文集和册本，遮蔽光学、光电子学、激光时间、生物医学光学等规模。这些资源和举止不仅促进了全球光学和光电子学的发展，也推动了立异时间的诈欺和专科东说念主才的培养。
本届IWAPS接收论文将被送检SPIE Digital Library及EI。接待公共奋勇报名！
-征稿规模-
i. Optical Lithography
ii. Emerging Patterning Technologies
iii. Metrology， Inspection and Testing
iv. Computational Lithography
v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability
vi. Materials
vii. Process
-征稿条目-
提要条目
提要必须败露地形色论文的性质、议论主题、议论骨子、组织结构、重心以及议论真义。且用英文撰写。
提要必须包括以下骨子：论文标题、关键词、作家的姓名、所属单元、邮件地址和通信地址。提要的字数不应跨越500个单词。对议论骨子的细节的形色将加多稿件被接收的可能。同期，咱们激烈提议在提交的提要中使用图表。
提要为止日历：2025年7月31日
提要提交邮箱：
iwaps_program@ime.ac.cn
提要请托见知日历：2025年8月21日
全文条目
论文提要被接收后，作家需要按照全文模板的条目提交最终论文。论文全文模板参考SPIE会议表率模板。论文投稿方法待系统敞开明公布（将使用SPIE投稿系统，请务必留意时间节点）。若有问题，接待干系会务邮箱：iwaps_program@ime.ac.cn。
本届会论说文将被送检SPIE Digital Library及EI，请务必在截止日历前投稿全文，不然不予送检，请严格参考模板门径。
全文提交截止日历 2025年9月30日
-历届精彩回归-
IWAPS 2017 北京
陆续：
IWAPS 2018 厦门
陆续：
IWAPS 2019 南京
陆续：
IWAPS 2020 成齐
陆续：
IWAPS 2021 佛山
陆续：
IWAPS 2022 北京 线上
陆续：
IWAPS 2023 丽水
陆续：
IWAPS 2024 嘉兴
陆续：
-往年论文集-
IWAPS 2020：
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceeding
IWAPS 2021：
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceeding
IWAPS 2022:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
IWAPS 2023:
https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/10365714/proceeding
IWAPS 2024:
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-SPIE/13423.toc
IWAPS 2025 会议规划服务仍是伸开
更多信息，敬请照管会议官网
www.iwaps.org/cn
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本文开头：IWAPS 图源：IWAPS